由(you)于实(shi)验(yan)室(shi)气(qi)(qi)路(lu)管道特(te)气(qi)(qi)系统(tong)(tong)是一种(zhong)具(ju)有(you)高(gao)风险的(de)(de)(de)供应(ying)系统(tong)(tong)，因此在生产(chan)线(xian)现场的(de)(de)(de)维(wei)护(hu)需要(yao)专业、有(you)经验(yan)的(de)(de)(de)技(ji)术员完(wan)成。特(te)气(qi)(qi)系统(tong)(tong)的(de)(de)(de)维(wei)护(hu)主要(yao)包含(han)特(te)气(qi)(qi)柜维(wei)护(hu)和管路(lu)维(wei)护(hu)。
特气(qi)柜(ju)又分为(wei)全(quan)(quan)自动(dong)特气(qi)柜(ju)与半自动(dong)特气(qi)柜(ju)，每种气(qi)柜(ju)的(de)维护(hu)方法有一定的(de)区别。全(quan)(quan)自动(dong)气(qi)柜(ju)维护(hu)自动(dong)化(hua)程(cheng)(cheng)度较高，并且安全(quan)(quan)可靠。在维护(hu)前关闭(bi)钢瓶阀(fa)门(men)，设置换瓶吹(chui)扫(sao)，程(cheng)(cheng)序自动(dong)进(jin)行抽气(qi)，置换等动(dong)作(zuo)，根据气(qi)体性质(zhi)的(de)不同，一般至少(shao)吹(chui)扫(sao)60次(ci)以(yi)上，负压保压30分钟(zhong)以(yi)上，确保气(qi)柜(ju)各管路(lu)与阀(fa)门(men)吹(chui)扫(sao)干净。
管(guan)路的(de)(de)维护(hu)，由于(yu)不同的(de)(de)气体性(xing)质不一样(yang)，对(dui)(dui)管(guan)路维护(hu)的(de)(de)方法(fa)也不相(xiang)同，对(dui)(dui)腐蚀(shi)性(xing)气体的(de)(de)管(guan)道(dao)(dao)需要多(duo)次(ci)用高纯(chun)氮(dan)气吹扫(N2purge)，一般至少(shao)反复30次(ci)，对(dui)(dui)于(yu)有吸附性(xing)的(de)(de)液(ye)态源(yuan)气体，由于(yu)管(guan)路容(rong)易堵(du)塞，需要多(duo)次(ci)的(de)(de)反复的(de)(de)抽(chou)(chou)真(zhen)空，抽(chou)(chou)完后关闭阀门，1小时后会出现压(ya)力表回表的(de)(de)现象(xiang)，会造成管(guan)道(dao)(dao)泄漏的(de)(de)误导，遇到(dao)此情(qing)况打开真(zhen)空器发生器继续抽(chou)(chou)，直(zhi)到(dao)没有吸附气体释放为止。
以(yi)上两种(zhong)系统维护后都(dou)必须做正压(ya)(ya)(ya)与负压(ya)(ya)(ya)的保(bao)压(ya)(ya)(ya)测试(shi)，一(yi)般正压(ya)(ya)(ya)保(bao)压(ya)(ya)(ya)压(ya)(ya)(ya)力(li)为(wei)使用(yong)压(ya)(ya)(ya)力(li)的1.2倍，负压(ya)(ya)(ya)保(bao)压(ya)(ya)(ya)为(wei)-12PSI，保(bao)压(ya)(ya)(ya)时(shi)间至(zhi)少120分钟以(yi)上，由于压(ya)(ya)(ya)力(li)传感器(PT)受温度的影响，一(yi)般有2PSI的正负波动(dong)。
|
||
|
||
 |
