阀门分配箱主要用于气体分配,这里主要介绍下阀门分配箱的应用等相关知识。
阀门分(fen)配箱(VMB)多用(yong)于(yu)特种气体(ti)的输送中(zhong)。在半(ban)导体(ti)、光(guang)伏(fu)太阳能、IC芯片等生(sheng)产领(ling)域,VMB广泛(fan)的应用(yong)于(yu)诸如磷烷、硼、硅烷(wan)、硫化(hua)氢、硫化(hua)氢、乙烯等(deng)易(yi)燃易(yi)爆、毒腐性气体的分配(pei)当中。
近几年来(lai),智研数据(ju)研究中心随着(zhe)我(wo)国(guo)(guo)超大(da)规模集成(cheng)电路、平板显示器(qi)、光伏(fu)发电等产(chan)业的(de)迅速发展,电子气体市场(chang)需求量明(ming)显增长,电子特种气体的(de)国(guo)(guo)产(chan)化已是(shi)大(da)势所趋。据(ju)了解(jie),我(wo)国(guo)(guo)在国(guo)(guo)产(chan)化方面取得可喜进展:国(guo)(guo)产(chan)高纯(chun)氨改变了国(guo)(guo)外气体公司垄断(duan)市场(chang)的(de)格局(ju),高纯(chun)四(si)氟化碳“有(you)价无货"时代(dai)也宣告(gao)结束,高纯(chun)氯化氢已成(cheng)功(gong)打开国(guo)(guo)内市场(chang)。所以,阀门分配系统的(de)应用会越来(lai)越广泛。
特气(qi)(qi)VMB应(ying)设(she)计进气(qi)(qi)管路(lu)(lu)隔离阀(fa)及压力指示装(zhuang)置(zhi);气(qi)(qi)体(ti)之(zhi)路(lu)(lu)应(ying)设(she)有(you)独立的(de)压力控制调节阀(fa)、过(guo)(guo)滤器、过(guo)(guo)流开关;气(qi)(qi)体(ti)的(de)支(zhi)路(lu)(lu)应(ying)设(she)有(you)独立的(de)出口隔离阀(fa);气(qi)(qi)体(ti)分支(zhi)路(lu)(lu)应(ying)设(she)置(zhi)独立的(de)吹扫气(qi)(qi)体(ti)装(zhuang)置(zhi)、辅(fu)助抽真空(kong)装(zhuang)置(zhi)等。
惰性气(qi)体(ti)(ti)方面,应设(she)置进气(qi)管路(lu)隔离(li)阀及压(ya)力(li)指示装置;气(qi)体(ti)(ti)之路(lu)应设(she)有独立(li)的(de)压(ya)力(li)控制调节阀、过滤(lv)器;气(qi)体(ti)(ti)支路(lu)应设(she)有独立(li)出口(kou)隔离(li)阀门。
电(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)气体,尤其是带有危(wei)险性(xing)的(de)特殊气体,是发展集(ji)成(cheng)电(dian)(dian)(dian)(dian)路、光(guang)(guang)电(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)、微电(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi),特别(bie)是超大规模集(ji)成(cheng)电(dian)(dian)(dian)(dian)路、液晶显示器件、半导体发光(guang)(guang)器件和(he)半导体材料制(zhi)造过程中*的(de)基础性(xing)支撑源材料,它(ta)被称为(wei)电(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)工业的(de)“血液"和(he)“粮(liang)食(shi)",它(ta)的(de)纯度和(he)洁净(jing)度直接影响(xiang)到光(guang)(guang)电(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)、微电(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)元器件的(de)质量、集(ji)成(cheng)度、特定技术指(zhi)标(biao)和(he)成(cheng)品(pin)率,并从根本(ben)上制(zhi)约(yue)着(zhe)电(dian)(dian)(dian)(dian)路和(he)器件的(de)精(jing)确性(xing)和(he)准确性(xing)。
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