南京实验室特气供气系统设计安装 气体管道产品概述：

南京实(shi)验室特气供(gong)气系统(tong)设计(ji)安装 气体管道特气供气系(xi)统

半导体、光伏(fu)、LED、TFT_LCD、光纤、科研院等行业的客户在(zai)工艺制(zhi)程中会使用(yong)到易燃易爆/有毒有害/腐(fu)蚀(shi)性等各(ge)类特(te)种(zhong)气体(ti)SiH4, NH3, Cl2等；特(te)气供气系统(tong)就是把各(ge)种特(te)种气体在满足工(gong)艺(yi)制(zhi)程要求的纯度(du)、压(ya)力和流量的前提(ti)下安(an)全稳定的供应到工(gong)艺(yi)设备内。

南京实验室特气供气系统设计安装 气体管道特(te)气供(gong)气系统组成部分

主(zhu)要部件(jian)：特(te)气系统主(zhu)要包括气源供应(特气(qi)柜、BSGS)、特气分配(VMB)、特气输送(管道阀门等)、工(gong)艺过(guo)程控制(PLC自动控(kong)制器)、以及(ji)气体泄漏侦测、尾气处理等(deng)主要模块。

二(er)、特(te)气柜/气瓶(ping)架

用于半导体和LCD微(wei)电子等(deng)行业的特(te)殊(shu)气(qi)(qi)(qi)体(ti)(ti)输送系统，特(te)气(qi)(qi)(qi)柜通常用(yong)于有毒、易燃、腐蚀性气(qi)(qi)(qi)体(ti)(ti)，气(qi)(qi)(qi)瓶架可用(yong)于惰性气(qi)(qi)(qi)体(ti)(ti)。

☆根据(ju)客(ke)户(hu)实际情况自行设计(ji)、量身定制，安(an)全美观(guan)、实用方便；

☆柜体采用3mm钢板，坚(jian)固防爆(bao)，观察(cha)窗口采用安(an)全玻璃；

☆PLC控制(zhi)和触(chu)摸屏操作(zuo)，实现(xian)全自(zi)动钢瓶切(qie)换操作(zuo)，简便直接；

☆可配备多路(lu)通讯端口供(gong)选择；

☆底座可加(jia)装(zhuang)电子秤；

               

三、气体分(fen)配(pei)箱/分(fen)配盘面

适用于半导体(ti)(ti)和微电(dian)子(zi)行业(ye)特殊气(qi)体(ti)(ti)输送系统(tong)，分(fen)配箱(xiang)多用于有毒、易燃(ran)、腐蚀性气(qi)体(ti)(ti)，分(fen)配盘面(mian)一般用于惰(duo)性气(qi)体(ti)(ti)；

☆主(zhu)要(yao)起到对特气柜出来的气体进(jin)行二(er)次(ci)分配(pei)的作用(yong)；

☆分为(wei)全自动、半(ban)自动和(he)手动控制；

☆吹(chui)扫、真空功能可选(xuan)；

四、特(te)气输送管路/二次配管

五、尾气处理系统

根(gen)据需处理的气体种类不同(tong)，通过合适的燃(ran)烧、水洗(xi)、吸(xi)附(fu)、化(hua)(hua)学反应等对工艺(yi)机(ji)台排放(fang)的有毒有害(hai)尾气进行(xing)无害(hai)化(hua)(hua)处理，达(da)到环保排放(fang)标准。

六、气体(ti)监(jian)控系统

GMS/UMS气体中央监控系(xi)统(tong)，通过(guo)上位机远程(cheng)显(xian)示特(te)气房(fang)内BSGS/GC/CDS实时(shi)(shi)运(yun)行界面以及(ji)实时(shi)(shi)运(yun)行数(shu)据, 实时显示各个侦测器的(de)数据以及侦测器的(de)运行状态, 实时(shi)显示VMB压力值, 双套(tao)管夹套(tao)压(ya)力数(shu)据(ju)采集, 当(dang)压力(li)超限后报警；相应BSGS/GC/VMB的紧急切(qie)断, 当发生(sheng)2级气体泄漏报警后，系统自动根(gen)据预先设定的(de)程序切断(duan)BSGS/GC的主供气(qi)阀门(men)； 数据及报(bao)警的归档和打印, 重要的数据和报警(jing)都进行(xing)归档，可(ke)以(yi)查看历史数据以(yi)了(le)解过程中(zhong)的工作(zuo)状况，并可(ke)以(yi)将(jiang)需要的数据打(da)印出来。

七、特殊定制服(fu)务(wu)

对客户仪器设(she)备上(shang)需要的各(ge)种(zhong)非标(biao)高(gao)纯洁净系统提供高(gao)质量(liang)代加工服务。