南京特气供气系统设计安装 实验室气路工程产品概述：

南京特气供气系统设计安装 实验室气路工程特气(qi)供气(qi)系统

半导体(ti)、光(guang)伏、LED、TFT_LCD、光(guang)纤、科研院等行业的客(ke)户在工艺制程中会使用到易燃易爆/有毒有害/腐(fu)蚀性等各类(lei)特种气体(ti)SiH4, NH3, Cl2等；特气供(gong)气系(xi)统(tong)就是把(ba)各种特种气体(ti)在(zai)满足工(gong)(gong)艺制程(cheng)要求的(de)纯度、压力和流量的(de)前提下安全稳定的(de)供(gong)应到工(gong)(gong)艺设备内。

南京特气供气系统设计安装 实验室气路工程特气供气系统组成部分

主(zhu)要部件：特气(qi)(qi)系统主(zhu)要包括气(qi)(qi)源供应(特(te)气柜、BSGS)、特气(qi)分配(VMB)、特气输送(song)(管道阀门等)、工艺过程(cheng)控(kong)制(zhi)(PLC自(zi)动控(kong)制器)、以(yi)及气体(ti)泄漏侦测、尾气处(chu)理等主(zhu)要模(mo)块(kuai)。

特气柜/气瓶架(jia)

用于半导体(ti)和LCD微电子(zi)等(deng)行(xing)业(ye)的特(te)殊气体输送系统，特(te)气柜通(tong)常用于有毒、易燃、腐蚀性(xing)气体，气瓶架(jia)可用于惰性(xing)气体。

☆根(gen)据(ju)客户实际(ji)情(qing)况自(zi)行设计、量身定制，安全美观、实用方便；

☆柜体采用3mm钢板，坚(jian)固防爆，观察窗口采用安全玻璃；

☆PLC控制和触(chu)摸屏操(cao)作，实(shi)现(xian)全自(zi)动钢瓶切换(huan)操(cao)作，简便(bian)直接；

☆可(ke)配备多路通讯端(duan)口供选择；

☆底座可(ke)加装电子(zi)秤；

气体(ti)分配箱/分配盘(pan)面(mian)                

适用于半导体(ti)(ti)和(he)微(wei)电子(zi)行业特殊气体(ti)(ti)输送系统，分配(pei)(pei)箱多用于有毒、易燃、腐蚀性(xing)气体(ti)(ti)，分配(pei)(pei)盘(pan)面(mian)一般用于惰性(xing)气体(ti)(ti)；

☆主要起(qi)到(dao)对(dui)特气柜出来的(de)气体进行二(er)次分(fen)配的(de)作用；

☆分为全自(zi)(zi)动(dong)(dong)、半自(zi)(zi)动(dong)(dong)和(he)手动(dong)(dong)控制(zhi)；

☆吹(chui)扫、真空(kong)功(gong)能可选；

特气输送管路/二次配管

尾气(qi)处理系统

根(gen)据需(xu)处理(li)的气体(ti)种类不同(tong)，通过合适(shi)的燃烧、水(shui)洗、吸附、化(hua)学反(fan)应等对工艺机台排放(fang)的有毒(du)有害尾气进行无害化(hua)处理(li)，达到环保排放(fang)标准。

南京特气供气系统设计安装气(qi)体(ti)监(jian)控系统  

GMS/UMS气(qi)体(ti)中央(yang)监控系统，通过上位机远程显示特(te)气(qi)房内BSGS/GC/CDS实(shi)时(shi)运(yun)行(xing)界面以及(ji)实(shi)时(shi)运(yun)行(xing)数据(ju), 实时显(xian)示(shi)各个侦(zhen)测器的数据以及侦(zhen)测器的运行状态,实时显示VMB压力值, 双套(tao)管夹套(tao)压力数(shu)据(ju)采集, 当压力(li)超限(xian)后(hou)报警；相(xiang)应BSGS/GC/VMB的紧急(ji)切断, 当发生(sheng)2级气体泄漏报(bao)警后(hou)，系统自(zi)动根据预先设定的程序切断BSGS/GC的主供气阀门； 数(shu)据(ju)及报(bao)警的归档和(he)打印, 重(zhong)要(yao)的(de)(de)数(shu)据(ju)和报(bao)警(jing)都进行归档，可以查(cha)看(kan)历史数(shu)据(ju)以了解过程中(zhong)的(de)(de)工作状况，并可以将需(xu)要(yao)的(de)(de)数(shu)据(ju)打印出来(lai)。